В предыдущих двух частях мы рассмотрели нескольких наиболее массовых микроэлектромеханических систем. Микрозеркальные матрицы DLP-проекторов, миниатюрные микрофоны, печатающие головки струйных принтеров и датчики движения – устройства интересные, но достаточно привычные. Однако существуют и куда более экзотические MEMS. О них и поговорим.
